EN3827
Engenharia de Filmes Finos

Recomendação

Ciência dos Materiais; Reologia I

Ementa

Introdução a filmes finos; Estrutura cristalina de filmes finos: amorfo, epitaxia e texturização; Defeitos em filmes finos ( vacâncias, deslocamentos, contorno de grão); Morfologia e microestruturas : nanocristalina, policristalina; Modelos de nucleação de filmes finos; Técnicas de deposição de filmes finos (PVD, Sputtering, vaporização, CVD, MOCVD, MBE, PLD); Deposições de filmes via soluções químicas (Sol-Gel, LPE); Filmes automontados (self-assembly). Filmes de Langmuir e Langmuir-Blodgett. Técnicas de de caracterização: Composição e estrutura cristalina: difração de raios X e elétrons, espectroscopia de massa, RBS, elétrons Auger, PIXE; Espessura e topografia: elipsometria, perfilometria, microscópio eletrônico, AFM e STM; Propriedades óticas, elétricas e mecânicas; Design e aplicações de filmes finos.

Bibliografia Básica

SMITH, D. L. Thin-Film Deposition: principles & practice, McGraw Hill, (1995).
FREUND, L. B., SURESH, S. Thin Film Materials: Stress, Defect Formation and Surface Evolution. Cambridge University Press (2009).
OHRING, M. Materials Science of Thin Films: Deposition and Structure, Academic Press (2002).

Bibliografia Complementar

GROZA, J. R., SHACKELFORD, J. F., LAVERNIA, E. J., POWERS, M. T., Materials processing handbook, CRC, 1st edition, 2007.
NALWA, Hari Singh. Handbook of thin film materials. San Diego: Academic Press (2002). Volumes 1-5
TU, K-N. MAYER, W. e FELDMAN L. C. Electronic Thin Film Science for Electrical Engineers and Materials Scientists, Prentice Hall, 1992.
SORIAGA, MP; STICKNEY, J; BOTTOMLEY, LA; KIM, Y-G . Thin Films: Preparation, Characterization, Applications. Springer (2002).

Tipo