Características de dispositivos sensores e atuadores Principais dispositivos sensores e atuadores Técnicas de fabricação de microdispositivos sensores e atuadores Técnicas para a caracterização de microdispositivos Projeto de micro sensores e micro atuadores Encapsulamento de micro dispositivos e integração com circuitaria.
Bibliografia Básica
SEDRA, Adel S.; SMITH, Kenneth C. Microeletrônica. 5 ed. São Paulo: Pearson Prentice Hall, 2007.
MADOU, Marc J. Fundamentals of microfabrication: the science of miniaturization. 2nd ed.. Boca Raton, Fla: CRC Press, c2002.
Rolf Enderlein, MICROELETRONICA: UMA INTRODUÇAO AO UNIVERSO DOS MICROCHIPS, SEU FUNCIONAMENTO, FABRICAÇÃO E APLICAÇÕES, Editora EDUSP, 1ª Edição - 1994
Bibliografia Complementar
PIERRET R.F., Semiconductor Device Fundamentals, Addison Wesley Publishing Company, 1996.
Novoa, J.J., Braga, D., Addadi, L., Engineering of Crystalline Materials Properties: State of the Art in modeling, Design and Applications (NATO Science for Peace and Security Series B: Physics and Biophysics), editora Springer, 2007
RISTIC, Ljubisa.. Sensor technology and devices. Boston: Artech House, 1994
J. FRADEN. "Handbook of modern sensor physics, designs, and applications", Springer-Verlag, 2004
VALADARES, Eduardo de Campos; CHAVES, Alaor; ALVES, Esdras Garcia. Aplicações da física quântica: do transitor à nanotecnologia. São Paulo: Livraria da Física: Sociedade Brasileira de Física, 2005