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Modelagem e Ciências Sociais Aplicadas
EN3715
Projeto de Microdispositivos para Instrumentação
T P I = 3 1 4Recomendação
Fundamentos de Eletrônica.
Ementa
Principais microdispositivos sensores e atuadores; técnicas de fabricação de microdispositivos sensores e atuadores; técnicas para caracterização de microdispositivos; projeto de microsensores e microatuadores; encapsulamento de microdispositivos.
Bibliografia Básica
M. J. MADOU, "Fundamentals of microfabrication", CRC press, Florida, 2002.
J. W. GARDNER, V. K. VARADAN, O. O. AWADELKARIM, “Microsensors MEMS and smart devices”. John Wiley & Sons, New York, 2001.
S. M. SZE, "Semiconductor sensors", John Wiley & Sons, New York, 1994.
Bibliografia Complementar
L. RISTIC, “Sensor technology and devices”, Artech House, Boston, 1994.
S. FRANSSILA, “Introduction to microfabrication”, John Wiley & Sons, England, 2004.
B. El-KAREH, “Fundamentals of semiconductor processing technologies”, Kluwer Academic Publishers, Massachusets, 2002.
S.D. SENTURIA, “Microsystem design” Kluwer Academic Publishers, Massachusets, 2001.
J.A. MARTINO, M.A. PAVANELLO, P.B. VERDONCK, “Caracterização elétrica de tecnologia e dispositivos MOS”, Thomson, 2004.
Tipo
Livre